樣品類型/特點

拉曼

EDS

說明

純金屬

J

純金屬無拉曼信號

堿金屬鹵素鹽(NaCl,KI,NaF)

J

堿金屬鹵素鹽拉曼不適合

大部分有機物

J

K

EDS輕元素測不準

有機鹽(酯CH3-COO-)

J

有機鹽適合拉曼解析

無機鹽、氧化物(BaSO4)

J

K

各種復雜鹽類、氧化等適合拉曼

碳管、石墨、DLC等碳材料

J

拉曼光譜表征比較理想

不導電樣品

J

K

拉曼不鍍膜，能譜分析有影響

水平方向分辨率

360nm

1μm

常規EDS高電壓，分辨率較低

垂直方向分辨率

760nm

EDS和電壓、密度有關

物理化學結構性質表征：

應力應變測量

J

拉曼位移

結晶度

J

拉曼峰寬

分子多晶型

J

拉曼峰寬

樣品臺

類型

Piezo

掃描范圍

250μm×250μm×250μm

掃描速度

超過1000譜/秒，掃描一張512×512像素的拉曼圖，僅需4分鐘

移動精度

2nm

白光光源

LED

光學物鏡

NA=0.75，WD=4.0mm，100x

分辨率

圖像空間分辨率（XY方向）

360nm（532nm激光）

共聚焦分辨率

2μm（532nm激光）

光譜分辨率

1cm^-1

激光

532nm激發波長（標配）

激光波長532nm，激光功率≥75mW，可連續調節激光功率

數字化軟件控制532nm激光輸入樣品表面功率，連續可調，精度優于0.1μm

拉曼低波數優于90cm^-1

785 nm激發波長

激光波長785nm，激光功率≥125mW

數字化軟件控制785nm激光輸入樣品表面功率，連續可調，精度優于0.1μm

488 nm激發波長

激光波長488nm，激光功率≥50mW

數字化軟件控制488nm激光輸入樣品表面功率，連續可調，精度優于0.1μm

拉曼光譜范圍

95~4000cm^-1（532nm激光）

光譜儀

焦長

≥300mm

刻線光柵

配置300，600,1200/1800lines/mm@500nm，全自動切換

光譜分辨率

優于1.5cm^-1

光譜重復性

優于0.02cm^-1

光譜校準光源

自動校準