樣品自動移動到成像模塊（光學輪廓儀或原子力顯微鏡），可以創建一個完整的劃痕的三維圖像。光學輪廓儀為白光干涉和激光共聚焦顯微鏡相結合。這種組合可以測量鋼刮坡，透明涂料（玻璃等），可測量表面粗糙度，劃痕體積、涂層失效等。用于亞納米分辨率 。

v> 功能全面：擁有超高的精度，可用 于測量薄膜、涂層或基體材料的機 械性能。可測量幾乎所有類型材料 的硬度、彈性模量、蠕變、疲勞等 特性。采用壓電陶瓷驅動和電容式 傳感技術，SMT可從納米到微米范 圍內定量測量表面性能。

v> 主要特點： 可更換模塊 具有電容傳感器技術 玻氏壓頭、維氏壓頭、球形壓頭、 立方體晶棱壓頭、努氏壓頭等 處理大型和重型負載樣品（50 厘 米；10公斤） 自動檢測三維形貌 小型納米壓痕儀 主動式隔震平臺 納米壓痕單一應用

v> 符合國際測試標準： ASTM E2546, ASTM B933, ASTM D785, ASTM E140 ISO 14577, ISO 6508, ISO 6507, ISO 4516 DIN 50359, DIN 55676 JIS B7734等

適用領域：航空航天、汽車、半導 體、生物醫學、光學材料、硬質涂 層等