產品詳情
MEMS VOC氣體傳感器利用MEMS工藝的Si基微熱板和在潔凈空氣中電導率較低的金屬氧化物半導體材料組成。當傳感器所處存在氣體環境中時，傳感器的電導率隨空氣中被檢測氣體的濃度而發生改變。該氣體的濃度越高，傳感器的電導率就越高。使用簡單的電路即可將電導率的變化轉換為與該氣體濃度相對應的輸出信號。
檢測氣體種類
乙醇（C2H5OH）： 10– 500ppm
氫氣（H2)：1-1000ppm
甲醛（CH2O)：10-100ppm
傳感器特點
低功耗
高靈敏度
結構堅固
MEMS工藝
簡單的驅動電路
快速的響應恢復特性
主要應用
適用于室內空氣質量監測 、手機電腦等消費類子產品應用檢測空氣質量也適用于呼出氣體檢 測儀、室內煙霧報警等。
技術指標
| 氣敏元件特性 | 符號 | 標準值 | zui小值 | zui大值 | 單位 |
| 傳感器電阻 | R0 | - | 100 | 1500 | KΩ |
| 氣體（C2H5OH）檢測濃度 | FS | - | 1 | 1000 | ppm |
| 靈敏度 | S50 | - | 1.2 | 50 | - |
注：1. R0 是在環境溫度23±5℃，環境濕度50±10%RH的標準工作條件下測得；
2. S50 即Rs(50ppm C2H5OH)/R0(in air)是在環境溫度23±5℃，環境濕度50±10%RH的條件下，傳感器在50ppm C2H5OH氣氛中的電阻值與傳感器在潔凈空氣中的電阻值的比值。
| 條件 | 符號 | 參數范圍 | 單位 |
| zui大加熱功率 | PH | 88 | mW |
| 回路電壓 | VS | 4.9 – 5.1 | V |
| 相對濕度范圍 | RH | 5 – 95 | %RH |
| 工作環境溫度 | Ta | -30 – 85 | °C |
| 儲存溫度范圍 | TS | -40 – 120 | °C |
| 儲存濕度范圍 | RH | 5 - 95 | %RH |
| 名稱 | 符號 | 標準值 | zui小值 | zui大值 | 單位 |
| 加熱功率 | PH | 76 | 71 | 81 | mW |
| 加熱電壓 | VH | 2.4 | - | - | V |
| 加熱電流 | IH | 32 | - | - | mA |
| 加熱電阻 | RH | 74 | 66 | 82 | Ω |
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