牛津膜厚儀Maxxi5外形尺寸達到長×寬×高  700×770×700mm；可滿足非常大型的產品測量要求，牛津膜厚儀Maxxi5儀器特點為：測量元素范圍：鈦Ti²²---鈾U^92，鍍層：zui多同時測定5層（4層鍍層+基體材料）成分：zui多同時測定20種元素，測量精度高、穩定性好，測量結果精確至μin，可分析固體、溶液；定性、半定量和定量分析，進行貴金屬檢測，如Au karat評價，材料鑒別和分類檢測，材料和合金元素分析，元素光譜定性分析，強大數據統計、處理功能：平均值、標準偏差、相對標準偏差、zui大值、zui小值、數據變動范圍、數據編號、CP、CPK、控制上限圖、控制下限圖，數據分組、X-bar/R圖表、直方圖

牛津膜厚儀Maxxi5可選配半導體探測器，元素分析更加精準

25mm²半導體（Si-Pin）探測器、Peltier電制冷

能量分辨率270 eV

單準直器Ф0.3、Ф0.4、Ф0.5、0.2×0.5mm任選一

多準直器程控交換：Ф0.3、Ф0.5、0.1×0.7、0.2×0.7mm

4096通道、數字式多道分析器

含時間校正和脈沖堆積清除的自動數字信號處理器

牛津膜厚儀Maxxi5采用德國原裝電腦配置，能夠快速穩定的進行膜厚測量

In Pentium G2030、2G RAM、500G硬盤或更高Microsoft^TM Windows7 32 bit，17吋Dell液晶顯示器，Canon彩色噴墨打印機