CS100 數字氣體質量流量控制器
- 公司名稱 北京華丞電子有限公司
- 品牌 七星華創
- 型號 CS100
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2020/6/20 10:57:01
- 訪問次數 3777
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北京華丞電子有限公司（以下簡稱“華丞電子”）是由北京七星華創流量計有限公司、北京七星華創集成電路裝備有限公司及北方華創微電子裝備有限公司射頻業務單元整合而成的工業領域核心零部件及解決方案科技企業，華丞電子立足于集成電路、新能源等工業領域的科技前沿，集聚了多項先進零部件技術核心人才，致力于成為一家全面的工業零部件解決方案供應商。
華丞電子傳承了數十年在流量測控、射頻技術和自動化設備等領域的專業優勢，技術積和創新能力。產品迭代升級的同時，華丞電子依據客戶新的產品需求不斷探索研究，深挖技術，創新產品，拓寬產品線，形成了流量測控、壓力測控、氣路系統、射頻電源、匹配器、磁流體密封裝置、傳輸系統、自動化裝備等系列產品，為半導體、光伏、燃料電池、真空鍍膜等領域提供解決方案。華丞電子布局六大研發/生產基地，營銷服務體系覆蓋歐、美、亞等全球主要國家和地區。
在新的征程上，北京華丞電子有限公司將攜手所有合作伙伴，共同開創電子科技領域的新篇章，為構建智慧社會貢獻我們的力量。
氣體質量流量計、數字氣體流量計、氨氣流量控制器、氧氣流量計、質量流量控制器
| 產地類別 | 國產 | 產品種類 | 質量式 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 面議 | 介質分類 | 氣體 |
| 應用領域 | 綜合 |
CS100數字氣體質量流量控制器是基于七星流量計CS系列產品技術平臺開發，在擁有恒功率傳感器技術，數字傳感器平衡技術，VCP線控制技術的基礎上，采用客戶定制化設計，客戶可根據需要選用符合自身需求的產品，同時其*創的客戶零點補唯功能(CGC)，能夠解決由于客戶地線連接導致的MFC精度不準問題，使產品更好的適應客戶環境。
優勢
• CS100產品采用客戶定制化設計，
• 客戶可根據需要選用±15V雙電源或+24單電源供電;
• 金屬密封或橡膠密封;
• 產品尺寸可選用符合通用的SEMI標準的產品，也可選用緊縮型產品。
CS100數字氣體質量流量控制器技術參數：
CS100 | ||||||||||||||
型號 | CS100A | CS100D | ||||||||||||
閥類型 | 常閉 | 無 | 常閉 | 無 | ||||||||||
流量規格(N2) | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | (0～10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM | ||||||||||||
準確度 | ±1.0% S.P. (≥35% F.S.)； ±0.35% F.S.(＜35% F.S.) | |||||||||||||
線性 | ±0.5% F.S. | |||||||||||||
重復精度 | ±0.2% F.S. | |||||||||||||
響應時間 | ≤ 1sec | |||||||||||||
工作壓差范圍 | 0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa； 流量規格≤10SLM | ＜0.02 MPa | ||||||||||
溫度系數 | 零點: ≤±0.05% F.S/℃； 調節時: ≤±0.1% F.S/℃ | |||||||||||||
耐壓 | 3MPa | 10MPa | 3MPa | 10MPa | ||||||||||
漏率 | 1×10-9 Pa·m3 / sec He（1×10-8 atm·cc / sec He） | |||||||||||||
密封材料 | 氟橡膠 | 金屬密封 | ||||||||||||
大工作壓力 | 0.45MPa | |||||||||||||
工作環境溫度 | （5～45）℃ | |||||||||||||
輸入信號 | 模擬: | 數字: RS485 | 無 | 無 | 模擬: | 數字: RS485 | 無 | 無 | ||||||
輸出信號 | 模擬: | 數字: RS485 | 模擬: (0～5)VDC | 數字: RS485 | 模擬: | 數字: RS485 | 模擬: | 數字: RS485 | ||||||
電源接頭形式 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | D型9針 D型15針 | D型9針 O型3針 | D型15針 | D型9針 D型15針 | D型9針陽接頭； O型3針陽接頭 | D型15針陽接頭 | ||
供電電源 | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ±15V | ±15V | +24V | ||
自動清零 | 支持 | |||||||||||||
表面粗糙度 | 25μinch Ra | |||||||||||||
標準接頭形式 | 雙卡套 φ6； 雙卡套φ3；雙卡套1/4´´；雙卡套1/8´´； VCR1/4´´陽接頭； φ6(內)x1軟管接頭;φ5(內)x1.5軟管接頭;φ4(內)x1軟管接頭 | VCR1/4″陽接頭 | ||||||||||||
重量 | 1.2Kg | 1Kg | 1.2Kg | 1Kg | ||||||||||
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