美國OAI INSTRUMENTS光功率計
- 公司名稱 天津西納智能科技有限公司
- 品牌
- 型號
- 產地 美國
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2023/7/13 9:18:18
- 訪問次數 668
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美國OAI INSTRUMENTS光功率計
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產品范圍:
美國OAI INSTRUMENTS曝光機、OAI INSTRUMENTS光刻機、OAI INSTRUMENTS光源、OAI INSTRUMENTS、OAI INSTRUMENTS光功率計、OAI INSTRUMENTS分析儀
品牌介紹:
OAI INSTRUMENTS是業內生產可靠并精密設備的MEMS,半導體,納米技術,潔凈室自動化和紫外線光測量的優秀制造商。OAI系統可同時用于研發和生產半導體,MEMS和微流體裝置。從光罩對準和UV光源UV電力儀表,OAI是在同行業中的者超過35年。OAI光功率計以其測量精度,重復性著稱,測量數據符合美國NIST標準,廣泛應用于半導體光刻能量測量及控制。
主要型號:
Model 306、Model 308、Model 311、Model 316、Model 317、Model 356、Model 357、Model 358、Model 457、Model 458、Model 459
美國OAI INSTRUMENTS Model 800半自動光刻機簡介:
光刻方式:接近式,軟,硬,真空接觸式
曝光距離:0-3000μm
間隙調節步進:1um
機械精度:1.5um
光刻精度:軟接觸2um,硬接觸小于1um
美國OAI INSTRUMENTS Model 6000全自動光刻機技術規格:
光刻方式:接近式,軟,硬,真空接觸式
基底尺寸:2-12寸晶圓或者zui大200mm方形
曝光分辨率:
真空接觸:0.5-0.8um
硬接觸:0.8-1.0um
軟接觸:1.0-3.0um
接近式(20um 間隙):3.0um
曝光均勻性:優于±3%
對準精度:頂面0.5um,底面1.0um(選件)
產量:180片/小時zui大
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