美國康寧Flat Master200平面度儀介紹:
美國康寧Flat Master200平面度儀也稱為平面度測量儀、平整度儀、平坦度儀等,為精密部件的制造商提供了業界的平面度及表面形態測量。
通過非接觸式光學測量技術能在很短 的時間內記錄下整個表面的數據。
提供了五種納米級的解析度和高達50納米的標準精度,能夠快速和準確地對各種表面的平面度、線型、半徑和其他表面參數進行精密測量。
美國Flat Master系列平面度測量系統/平面度儀/平整度儀/平坦度儀基于160 多年在特殊玻璃、陶瓷材料、聚合物和應用光學等材料科學和制程工藝領域的知識, 創造并生產出了眾多被用于高科技消費電子、移動排放控制、通訊和平板顯示等科學領域產品的關鍵組成部分。
Flatmaster 200平面度儀/FM200平面度測量儀/平坦度儀/平整度儀可測量多種不同指標:
厚度/TTV/SORI/LTV/LDOF/壓力/翹曲度/彎曲度/平坦度/平面度/線輪廓/表面輪廓
完整的分析系統:
三維/拓撲/合格率/分布/二維環形和半徑切面/平面/球面/錐形匹配/局部平面度分析/斜度
可以實現自動、快速、準確、穩定的測量
超過15年的工業應用,幾百臺的裝機量
Flatmaster 200平面度儀/FM200平面度測量儀/平坦度儀/平整度儀主要特點及應用領域:
無接觸和無損傷測量
適用多種類型材料:半導體,金屬,聚合物,陶瓷,玻璃和其它材料
適用多種類型晶片:硅/藍寶石/碳化硅/砷化鎵/石英/鍺/鈮酸鋰
適用多種類型表面:研磨表面,拋光面,超光滑面
Flatmaster 200平面度儀/FM200平面度測量儀/平坦度儀/平整度儀的技術參數:
重復性:15 nm(0.6μ″)(1 sigma)
分辨率:5nm (0.2μ″)
可測量工件尺寸:25mm-200mm
動態測量范圍:>100um
測量數據點:230,000 / measurement
測量時間:5秒
電源:220V 50Hz