化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>薄膜生長設(shè)備>化學(xué)氣相沉積設(shè)備>KJ-T1200-S6012LK1-3F 1200℃高溫真空PECVD設(shè)備 化學(xué)氣相沉積爐
KJ-T1200-S6012LK1-3F 1200℃高溫真空PECVD設(shè)備 化學(xué)氣相沉積爐
參考價 | ¥ 156000 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 鄭州科佳電爐科技有限公司
- 品牌
- 型號 KJ-T1200-S6012LK1-3F
- 產(chǎn)地 河南省鄭州市高新開發(fā)區(qū)玉蘭街55號
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2016/10/20 10:19:43
- 訪問次數(shù) 517
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箱式馬弗爐、管式電阻爐、真空爐、氣氛爐、坩堝爐、CVD系統(tǒng)、牙科爐、升降爐、軌道爐、臺車爐、退火爐、升降爐、微波燒結(jié)爐、烤瓷爐等標(biāo)準(zhǔn)及非標(biāo)實(shí)驗(yàn)電爐和工業(yè)電爐,并提供各類電爐配件,加熱元件及耐火材料。
鄭州科佳電爐有限公司位于鄭州電子商務(wù)產(chǎn)業(yè)園,公司是專業(yè)做各種高溫加熱設(shè)備的生產(chǎn)廠家,產(chǎn)品主要用于CVD石墨烯制備設(shè)備、熒光粉燒結(jié)設(shè)備、氧化鋯生物陶瓷燒結(jié)、納米材料制備、電池材料制備、陶瓷材料的微波燒結(jié)、稀有金屬的區(qū)域提純等研究發(fā)展方向。公司主營產(chǎn)品有箱式馬弗爐,管式電阻爐,真空爐,氣氛爐,CVD系統(tǒng),牙科爐,升降爐,軌道爐等。
產(chǎn)品介紹:
KJ-T1200-S6012LK1-3FH5S型高溫真空CVD設(shè)備由KJ-T1200滑動式快速退火管式爐+真空系統(tǒng)+供氣系統(tǒng)組成 ,zui高溫度可以達(dá)到1200度,可以是單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等,極限真空可以達(dá)到10-3Pa,供氣系統(tǒng)是流量調(diào)節(jié)可以是質(zhì)子流量計或浮子流量計,混氣路數(shù)可以是2路、3路、4路、5路相混合,可以對多種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入到管式爐內(nèi)部。
KJ-T1200-S6015LK1-H系列快速退火爐爐管兩端安裝真空法蘭,真空度用分子泵可以到10-5Torr,機(jī)械泵可到10-3Torr。爐底安裝一對滑軌,可用手動滑動。加熱和冷卻速率zui大可達(dá)100°C/m。為取得zui快加熱,可以預(yù)先加熱爐子到設(shè)定的溫度,然后移動爐子到樣品位置。為獲得zui快冷卻,可在樣品加熱后移動爐子到另一端。加熱和冷卻速率在真空或者惰性氣體環(huán)境下可以達(dá)到10°C/s,是低成本快速熱處理的理想爐子。
應(yīng)用范圍:
KJ-T1200-S6012CK-3F5S型高溫真空CVD設(shè)備是一種特殊的高真空CVD系統(tǒng),是高校、科研院所、工礦企業(yè)做高溫氣氛燒結(jié)、氣氛還原、CVD實(shí)驗(yàn)、真空退火用的理想產(chǎn)品。
規(guī)格參數(shù):
結(jié)構(gòu) | 采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有分冷,使得殼體表面的溫度小于55°C。保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環(huán)保節(jié)能,減少熱量的損失內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命 | |
加熱元件 | 摻鉬合金加熱絲 | |
工作溫度 | 1100°C | |
zui高溫度 | 1200°C | |
zui大升溫速率 | 5°C/min | |
zui大降溫速率 | 5°C/min | |
加熱區(qū)長度 | 455mm (18") | |
恒溫區(qū)長度 | 150(+/-1°C) | |
溫控系統(tǒng) | 一個精密溫度控制器 PID方式控制,通過可控硅 SCR可設(shè)置30段升降溫程序。 | |
控溫精度 | +/-1°C | |
爐管材質(zhì)和尺寸 | 石英管 ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm | |
密封法蘭 | 兩個不銹鋼密封法蘭,法蘭上已經(jīng)安裝數(shù)字式真空顯示計,和閥門通過機(jī)械泵真空壓力可以達(dá)到5x10-2 torr,泄漏率zui大6 mtorr/min | |
輸入電源 | AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率:zui大5KW | |
真空泵和配件 | 真空泵 | 一個雙旋片式機(jī)械泵安裝在移動架內(nèi)通過此機(jī)械泵真空度可以達(dá)到 5x10^-2 torr |
配件 | 標(biāo)配的真空配件: 一對不銹鋼 密封法蘭和KF-25 真空泵接口,兩個不銹鋼針閥, 1/4"的軟管接頭一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍一個LED數(shù)字式真空顯示計(測量范圍: 0.1mtorr ~ 850 torr) | |
氣體流量計 | 4個浮子流量計,可同時混入4種不同氣體。 四通道控制 精度0.02% 、數(shù)字顯示、自動控制、 一個混氣罐、底部裝有泄廢液口 MFC 1范圍 0~100 sccm MFC 2和3 0~500 sccm 進(jìn)氣接口 1/4NPS 出氣接口 1/4NPS | |
產(chǎn)品尺寸 | 外徑80 & 1000mm 的氧化鋁石英管 爐體尺寸:550 x 500 x 700mm L x W x H 混氣系統(tǒng):: 600 x 600 x 700mm 真空機(jī)組: 600 x 600 x 700mm |
說明:1、本產(chǎn)品的規(guī)格參數(shù)僅供參考,以具體產(chǎn)品實(shí)際參數(shù)為準(zhǔn),請與銷售及咨詢客服人員。
2、產(chǎn)品圖片及外觀尺寸在不斷研發(fā)更新中、如有更改恕不另行通知。
3、除標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品外、我公司可根據(jù)客戶要求,進(jìn)行設(shè)計生產(chǎn),具體與銷售人員
:鮑婷 :