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德國HYDAC賀德克溫度探針原裝

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電子探針主要由電子光學系統(鏡筒),X射線譜儀和信息記錄顯示系統組成。電子探針和掃描電鏡在電子光學系統的構造基本相同,它們常常組合成單一的儀器。

 

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1電子光學系統
該系統為電子探針分析提供具有足夠高的入射能量,足夠大的束流和在樣品表面轟擊殿處束斑直徑近可能小的電子束,作為X射線的激發源。為此,一般也采用鎢絲熱發射電子槍和2-3個聚光鏡的結構。為了提高X射線的信號強度,電子探針必須采用較掃描電鏡更高的入射電子束流(在10-9-10-7A范圍),常用的加速電壓為10-30KV,束斑直徑約為0.5μm。


電子探針在鏡筒部分與掃描電鏡明顯不同之處是由光學顯微鏡。它的作用是選擇和確定分析點。其方法是,先利用能發出熒光的材料(如ZrO2)置于電子束轟擊下,這是就能觀察到電子束轟擊點的位置,通過樣品移動裝置把它調到光學顯微鏡目鏡十字線交叉點上,這樣就能保證電子束正好轟擊在分析點上,同時也保證了分析點處于X射線分光譜儀的正確位置上。在電子探針上大多使用的光學顯微鏡是同軸反射式物鏡,其優點是光學觀察和X射線分析可同時進行。放大倍數為100-500倍。


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