開爾文探針(Kelvin Probe)是一種非接觸無損震蕩電容裝置，用于測量導體材料的功函數(Work Function)或半導體、絕緣表面的表面勢(Surface Potential)。

材料表面的功函數通常由zui上層的1-3層原子或分子決定，所以開爾文探針是一種zui靈敏的表面分析技術。

我們的開爾文探針系統包括：

□單點開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；

□掃描開爾文探針(大氣環境及氣氛控制環境)；

□超高真空(UHV)開爾文探針；

□濕度控制的腐蝕開爾文探針；

掃描開爾文探針系統 (ASKP)

ASKP系統是一款可以被大多數客戶所接收的掃描開爾文探針系統，它是在SKP基礎之上包括了彩色相機/TFT顯示器、2毫米和50微米探針、外部數字示波鏡等配置，其規格如下：

□2毫米，50微米探針；

□功函數分辨率 1-3 meV(2毫米針尖)，5-10 meV(50微米針尖)；

□針尖到樣品表面高度可以達到400納米以內；

□表面勢和樣品形貌3維地圖；

□探針掃描或樣品掃描選配；

□彩色相機、調焦鏡頭、TFT顯示器和專業的光學固定裝置；

□參考樣品(帶相應的掃描開爾文探針系統的形貌)；

□備用的針尖放大器；

□24個月超長質保期；

儀器的特色

□*臺商用的*意義上的開爾文探針系統；

□zui高分辨率的功函數和表面勢，的穩定性和數據重現性；

□非零技術(Off-null,ON) ——ON信號探測系統在高信號水平下工作，與基于零信號原理(null-based,LIA)的系統相比，不會收到噪聲的影響擁有高靈敏度；

□高度調節技術 ——我們的儀器在測量和掃描時可以控制針尖的高度。因為功函數受樣品形貌的影響，針尖與樣品表面距離的調節意味著數據的高重現性且不會漂移；

□該領域內，擁有的信噪比；

□快速響應時間 ——測量速度在0.1-10秒間，遠快于其他公司產品；

□功能強的驅動器 ——選用Voice-coil(VC)驅動器，與通常的壓電驅動器相比，VC驅動器頻率要穩定得多、控制的針尖振幅大得多、支持平行多探針操作、支持不同直徑探針操作；

□所有開爾文探針參數的全數字控制；