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化工儀器網>產品展廳>化工機械設備>塑料工業專用設備>薄膜> SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

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SOI薄膜（Si+SiO2+Si）

具體成交價以合同協議為準

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　　合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年，是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發生產上百款不同規格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發等相關實驗室設備。現已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優異，質量可靠，性價比高，環保節能、返修率低，遠銷到歐洲，美國，日本，德國等許多國家，廣泛應用于物理、化學、冶金、醫學、新能源材料研發等領域，受到客戶*好評。
 
　　科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創新"的經營理念,全力打造材料研發設備的品牌,竭力為科學進步和社會發展做出貢獻。
 

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動球磨機，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機，電池制備設備等

產品名稱：

SOI基片（Si+SiO2+Si）

常規尺寸：

dia4" 鍍膜層：20um Si P/B + 2umSiO2+500um Si undoped


技術參數：

國產SOI：膜層厚度可以按照客戶需求加工

①頂層2um±0.5（5點）, BOX層2um±0.1 ,  P型，總厚度大約621um, 平整度LTV < 1um

②頂層3um±0.5（5點）, BOX層2um±0.1，P型，總厚度大約622um, 平整度LTV < 1um

電阻率Ω.cm：15-25 ohm.cm；

進口SOI：

點擊查看：http://mtixtl.com/soiwafersilicononinsulator.aspx


常規尺寸：

SOI

φ6″100>/<110>鍍2umSiO2層鍍2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍0.2umSi層-1sp

SOI

φ4″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″<100>/<110>鍍0.375umSiO2層鍍1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍0.375umSiO2層鍍0.1umSi層-1sp

SOI

φ6″-<100>鍍3umSiO2層鍍220nmSi層-1sp


備注：

1000級超凈室100級超凈袋單片盒或25片插盒封裝



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