聚焦離子束激光離子化納米質譜成像系統 (FILMER)

                                    -納米尺寸表面質譜成像

FILMER基于二次離子質譜技術，集成了聚焦離子束，掃描電子顯微鏡和激光器。

功能

? 二次離子質譜

原理

用聚焦離子束濺射試樣表面，收集和分析排出的二次離子；

數據采集

這些二次離子的質量/電荷比及質譜可確定元素，同位素，或分子組成；

?激光二次中性質譜（Laser-SNMS）

原理

用聚焦離子束濺射試樣表面，使用激光共振電離大多數濺射中性原子；

數據采集

與二次離子質譜相同

?聚焦離子束精細加工

可以通過連續Ga聚焦離子束連續濺射樣品表面除去想要除去的部分；

?二次離子質譜及掃描電子顯微鏡觀測

可實現二次離子質譜及掃描電子顯微鏡兩種觀測方式；

主要特點：

1. 高空間分辨率

□ 橫向分辨率 < 40nm

□ 質譜分辨率 m/Δm >7000@m/z=56

2. 可原位加工和分析，避免暴露于空氣中

□ SEM小損傷觀測，可定位值FIB相同位置；

□ 可分析顆粒表面及橫截面；

3. 可實現激光二次中性質譜

□ 與傳統SIMS相比可顯著改善信號靈敏度；

□ 高靈敏度的有機化合物分析；

技術參數：