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日立分析儀器(上海)有限公司

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島津UV-VIS-NIR 島津UV-VIS-NIR分光光度計

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廈門萊馳電子科技有限公司是一家專業致力于衛生監督、疾病控制、職業安全、食品安全、環境監測等行業技術服務的儀器公司。自成立伊始,我們就以國家相關標準為導向,專注于現場快速檢測儀器方面新技術新產品的引進、生產及技術咨詢,并提供專業的產品配置方案和售前售后服務等工作。

多年來我們不懈努力,用誠信和執著贏得了眾多國內外眾多廠家的認可,先后與美國TSI公司、美國LaMotte公司、英國Bedfont公司、美國Thermo Fisher Scientific公司、英國Jensprima公司、美國Xylem公司、德國Testo公司、中國臺灣TES公司、上海元析公司、上海舜宇恒平公司等建立了良好而密切的合作關系,用良好的產品、優質的服務共同為中國用戶服務。

多年來我們不斷堅持,用產品及完善的服務贏得了廣大用戶的信任與支持。先后成為中國各省市疾控中心、*、衛生*、*、*門、科研院校以及企事業單位的優質合作伙伴。

 

衛生監督儀器、職業衛生檢測儀器、水質檢測儀器、食品檢測儀器、實驗室設備

光學組件需要對透光率及反射率進行高精度測定。SolidSpec-3700/37000DUV擁有三個檢測器,覆蓋的范圍從紫外區到近紅外區。通過使用InGaAs和冷卻型PbS檢測器提高近紅外區的靈敏度。從而得到從紫外區到近紅外區高精度和高靈敏度光譜。

傳統的分光光度計使用一個光電倍增管對紫外和可見區域進行檢測。但所有檢測器在檢測器轉換范圍內靈敏度較低,因此在此范圍檢測時無法實現高靈敏度測定。 SolidSpec-3700/3700DUV通過使用InGaAs檢測器可在轉換領域內進行高靈敏度檢測。

高靈敏度檢測

InGaAs檢測器和PbS 檢測器測定銳截止濾光片透過率的譜圖如下圖所示:SolidSpec-3700/3700DUV從850至1600nm范圍內實現了低噪音水平,與傳統的分光光度計相比,1300至1600nm范圍內,噪聲減少了四分之一。

SolidSpec-3700/3700DUV在1300-1500nm,在透過率小于1%的前提下,噪聲水平小于0.1%。此波長范圍的高靈敏度分析使SolidSpec-3700/3700DUV成為檢測低反射樣品的強有力工具,如在光傳輸中使用的防反射涂層及薄膜。

1500nm處的噪聲為世界*水平,小于0.00005Abs(狹縫寬度8nm,RMS),刪除使用直接受光單元DDU/DDU-DUV.小于0.00003Abs(狹縫寬度2nm,RMS)

隨著以ArF激發激光為代表的使用深紫外激光的高精度激光儀器的發展,提高了對光學材料深紫外區透過率和反射率的測定要求。

SolidSpec-3700DUV使用積分球時可在175nm-2600nm的范圍測定,而使用選配件直接受光單元DDU-DUV時可在165nm-3300nm的范圍測定。

使用此附件,可實現從深紫外區到近紅外區寬范圍的測定。

空氣中的氧分子會吸收190nm以下的深紫外光,需要使用氮氣吹掃光室和樣品室以除去氧分子的干擾。SolidSpec-3700DUV各單元都設有吹掃入口,可進行充分的氮氣吹掃,以實現深紫外區的高靈敏度和低雜散光。

為進行深紫外區的測定,檢測器的窗口和積分球內壁均使用不吸收深紫外光的材料,SolidSpec-3700DUV的PMT檢測器使用特制熔融石英作為窗口材料,積分球內壁使用深紫外區具有高反射性能的特殊樹脂。

深紫外區高靈敏度和低雜散光測定

深紫外區的高精度測定要求充足光通量和低雜散光。
右圖是使用直接受光單元DDU-DUV(選配)測定石英板的透過率光譜。
在紫外區域可得到超低噪聲的光譜。

SolidSpec-3700/3700DUV配有大樣品室,可使大樣品進行無損檢測。其內部尺寸為900W x 700D x 350H。
可測定的zui大樣品尺寸700W x 560D x 40H mm。樣品尺寸為12英寸或310 x 310 mm的樣品可用自動X-Y樣品臺(選配)
使用X-Y樣品臺的大樣品室

使用X-Y樣品臺測定12英寸硅片

自動檢測

為SolidSpec-3700/3700DUV研發的自動X-Y樣品臺可對提前點進行自動檢測,同時又可進行氮氣吹掃。

12英寸硅片上SiO2薄膜的反射光譜
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