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NM-HTP 高溫等離子樣品臺

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NANO-MASTER(那諾-馬斯特)作為性的專業薄膜工藝系統的供應商,提供的產品涵蓋了沉積、刻蝕、生長、表面處理、清洗、空間仿真儀器測試等類別。

主要的設備包含有:

E-Beam電子束蒸發系統,Thermal熱蒸發系統;
PECVD等離子增強化學氣相沉積系統;
PLD脈沖激光沉積系統,DLC類金剛石沉積系統;
Sputering磁控濺射(DC&RF)系統;
Ion Beam離子束濺射/清洗/刻蝕/研磨系統;
RIE反應離子刻蝕系統,DRIE深硅刻蝕系統;
ICP電感耦合等離子系統;
Plasma等離子清洗/改性/去膠系統;
ALD原子層沉積系統,PA-MOCVD系統;
CNT生長系統,石墨烯生長系統;
PIII等離子注入系統,RTP真空退火;
Megasonic兆聲清洗/刻蝕;
Device Testing Systems設備測試(空間仿真);
Heated Platens等離子樣品臺等。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的設備廣泛應用于:LED領域,MEMS領域,納米技術領域,光電子學,光伏領域,研究開發、半導體領域,空間仿真學,新興技術等。

PECVD,PA-MOCVD,蒸發系統,離子束,ALD,等離子源,濺射,刻蝕,熱真空,兆聲清洗機,雙系統

Nano-Master(那諾-馬斯特)高溫等離子樣品臺

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)樣品臺可以直接安裝到客戶的系統中,針對您具體的樣品臺需求,請NANO-MASTER(那諾-馬斯特)以獲得進一步的信息。

NANO-MASTER(那諾-馬斯特)生產的樣品臺擁有的技術,可以提供*的性能和均勻的加熱效果。NANO-MASTER樣品臺提供了自偏壓、水冷,以及穩定控制的功能,根據不同的型號,zui高溫度范圍從3000C到7000C。樣品臺的高度可以調節,并且具有旋轉功能。因為所有的引線、熱電偶和水管都安置在大氣環境中,所以不會發生短路和弧光。

產品型號:

NM-LTP:低溫樣品臺,可加熱到3000C

NM-MTP:中溫樣品臺,可加熱到5000C

NM-HTP:高溫樣品臺??杉訜岬?000C



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