化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>其它實(shí)驗(yàn)室常用設(shè)備>鍍膜機(jī)>NSC-4000 Sputter/磁控濺射鍍膜機(jī)
NSC-4000 Sputter/磁控濺射鍍膜機(jī)
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 那諾-馬斯特中國(guó)有限公司
- 品牌
- 型號(hào) NSC-4000
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2018/5/11 20:06:11
- 訪問(wèn)次數(shù) 654
產(chǎn)品標(biāo)簽
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PECVD，PA-MOCVD，蒸發(fā)系統(tǒng)，離子束，ALD，等離子源，濺射，刻蝕，熱真空，兆聲清洗機(jī)，雙系統(tǒng)
產(chǎn)品特點(diǎn)：
- 不銹鋼，鋁質(zhì)腔體或鐘罩式耐熱玻璃腔
- 70，250或500 l/s的渦輪分子泵，串接機(jī)械泵或干泵
- 13.56MHz，300-600W RF射頻電源以及1KW DC直流電源
- 晶振夾具具有的<1 ?的厚度分辨率
- 帶觀察視窗的腔門(mén)易于上下載片
- 基于LabView軟件的PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
- 帶密碼保護(hù)功能的多級(jí)訪問(wèn)控制
- *的安全聯(lián)鎖
選配項(xiàng)：
- 向上、向下或側(cè)面濺射
- RF、DC以及脈沖DC濺射
- 共濺射、反應(yīng)濺射
- 組合濺射
- RF或DC偏壓（1000V）
- 樣品臺(tái)可加熱到700°C
- 膜厚監(jiān)測(cè)儀
- 基片的RF射頻等離子清洗
- 預(yù)真空鎖以及自動(dòng)晶圓片上/下載片
應(yīng)用：
- 晶圓片、陶瓷片、玻璃白片以及磁頭等的金屬以及介質(zhì)涂覆
- 光學(xué)以及ITO涂覆
- 帶高溫樣品臺(tái)和脈沖DC電源的硬涂覆
- 帶RF射頻等離子放電的反應(yīng)濺射
型號(hào)：
- NSC-4000：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的獨(dú)立式系統(tǒng)
- NSC-3500：基于PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的緊湊型獨(dú)立式系統(tǒng)
- NSC-3000：PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)
- NSC-1000：半自動(dòng)控制的臺(tái)式系統(tǒng)
(以下為雙系統(tǒng)型號(hào))
- NSR-4000：濺射/RIE系統(tǒng)
- NSP-4000：濺射/PECVD系統(tǒng)
- NST-4000：濺射/熱蒸發(fā)系統(tǒng)
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