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日立分析儀器(上海)有限公司

化工儀器網>產品展廳>分析儀器>光譜>微波等離子體光譜儀(MPT、MIP)> PLASCALC-2000等離子監控系統

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PLASCALC-2000等離子監控系統

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  北京征程創拓科技有限公司(征程科技)于2008年在北京創立,是面向中國用戶提供優質的光電產品及服務的代理專家,將面向客戶的技術型服務作為自己的立足之本,并把它貫徹到各個環節。
 
  公司崇尚簡單、和諧的企業文化,公司為每一個有志向的員工提供一個施展才華的舞臺,尊重每個人的創造性和工作熱情,收獲屬于做出奉獻的人!
 
  征程科技視聲譽為公司的生命,始終堅持“潛心做事、用心做人”的經營理念,堅信“一個正直、勤奮、堅忍不拔、恪守承諾的員工團隊,是為客戶提供優質服務的基礎。
 
  目前公司代理的業務涉及美國、加拿大、歐洲和日本等國家和地區。

飛秒激光器,量子級聯激光器,單光子計數器,電光調制器,微型光譜儀,特種光纖,皮秒激光器,寬帶光源,雙光子源,光纖激光器,光柵

PLASCALC-2000等離子監控系統描述

PLASCALC-2000等離子監控系統配有2048像元CCD高分辨率的光譜儀,等離子體光輻射測量范圍為200-1100nm,PlasCalc-2000進程控制系統精確可靠,其精密的數據采集和控制算法格外具有優勢,對PC的模擬和數字輸入輸出功能也簡化了進程控制過程。PlasCalc-2000及其軟件系統在數據采集和信號處理上非常方便,波長、測量模式編輯器可以迅速產生有效的測量模式及各種測量模式的組合,適合于控制系統。

PlasCalc-2000參數

200-1100nm光譜的范圍

1.0nm全高半寬分辨率
14位I/O D/A轉換
8個TTL數字I/O端口
4個0-10V模擬輸出端口
USB1.1接口

參數

多達6通道的寬帶光譜數據采集
每個通道都可以獨立配置光譜范圍
小于0.3nm的光學分辨率
16個TTL數字I/O端口
8個1-10V模擬輸出端口
USB2.0接口

應用

通用過程監控
表面清潔過程
保護膜
等離子體刻蝕
等離子室設備健康水平監控
非常規過程處理
多晶硅平整化處理
新的加工過程優化和監控

 

 

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