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施啟樂(廣州)儀器有限公司

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>實驗室常用設備>凈化/清洗/消毒>洗瓶機/清洗機> 小型等離子清洗機--PCE-6

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小型等離子清洗機--PCE-6

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小型等離子清洗機

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  合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學研究院合資興辦的高新技術企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關實驗室設備?,F(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設計*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性價比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫(yī)學、新能源材料研發(fā)等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營理念,全力打造材料研發(fā)設備的品牌,竭力為科學進步和社會發(fā)展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等

        PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz1%),輸出功率7.2W、10.2W29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

 

技術參數(shù)

主要特點

  • 通過控制面板的按鍵及開關,可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
  • 時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
  • 設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體。
  • 選用大功率色射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

參數(shù)

  • 電源:AC220V  50/60Hz
  • 輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
  • 真空泵功率:<500W
  • 總功率:<600W 
  • 射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調(diào)節(jié)
  • 等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Φ45mm 的觀察窗
  • 真空泵:24L/min,直連式雙旋真空泵
  • 極限真空度:50mtorr
  • 通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2Ar、H2O2Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

產(chǎn)品規(guī)格

  • 尺寸:400mm×300mm×300mm
  • 重量:10.2kg

可選配件

  • 2″-6″石英舟(盛放基片)
  • 2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)

質(zhì)保期

一年質(zhì)保期,終身維護



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