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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐> 1700°C二通道混氣高真空CVD系統-GSL-1700X-...

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1700°C二通道混氣高真空CVD系統-GSL-1700X-4-HVC

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  合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發生產上百款不同規格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發等相關實驗室設備。現已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優異,質量可靠,性價比高,環保節能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫學、新能源材料研發等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創新"的經營理念,全力打造材料研發設備的品牌,竭力為科學進步和社會發展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等

     GSL-1700X-4-HVC是一款CE認證的二通道高真空CVD系統,其爐管直徑為4英寸,它是由二路質子混氣系統和高真空機組組成其zui高工作溫度可達1600極限真空度可達 to 10^-5 torr。混氣系統可以對兩種氣體進行精確的混氣,然后導入到管式爐內部。

技術參數

GSL-1700X 系列管式爐

殼體

  • 采用雙層殼體結構,并帶有風冷,使得殼體表面的溫度 < 55°C.
  • 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命
  • 保溫材料采用高純氧化鋁纖維,環保節能,減少熱量的損失
  • 真空泵和氣體混合系統位于移動架上,方便移動.
  • 儀器上已經安裝高真空法蘭,閥門,高真空機組

爐管

  • 材質高純氧化鋁陶瓷管
  • 一根高純氧化鋁陶瓷管已經安裝在爐子上
  • 4.1 "OD x 3.625 " ID x 40 " L  (99.8%)

功率

 

6KW

工作電壓

 

AC 208-240V單相, 50/60Hz

加熱元件

 

1800°C grade MoSi2 heating element

工作溫度

  • zui高工作溫度.: 1650°C
  • 連續工作溫度.: 1600°C

升溫速率

 

 <=5°C/min

加熱區長度

  • 加熱區長度: 457 mm (18")
  • 恒溫區長度: 150 mm (6")(+/-1°C)

溫控系統

  • 采用PID方式自動控制,并可設置30段升降溫程序
  • 控溫精度: ±1°C                   
  • 控溫儀表操作視頻
  • 熱電偶: B 型,已經安裝在爐內

真空法蘭

  • 一對不銹鋼真空密封法蘭已經安裝
  • 法蘭上帶有一機械壓力表
  • 兩個精密針閥
  • 一個KF-25連接器 KF-25  KF-40 抽氣接口
  • 一個1/4"卡套接頭

外形尺寸

 

550 x 380 x 520mm

高真空機組

功率

 

100~110W

工作電壓

 

AC 208-240V單相, 50/60Hz

外形尺寸

 

600(L) x 600(W) x 700(H), mm

殼體

  • 殼體尺寸:  600 (L) x 600 (W) x 700(H), mm
  • zui大承載量:       600 Lbs on top
  • 分子泵控制面板:   LCD 數字顯示
  • 內裝有一  Pfeiffer vacuum pump  made in Germany:    

控制面板

  • 一鍵操作:按下"start" 鍵后,隔膜泵和渦輪分子泵將會啟動(隔膜泵先啟動等真空度達到10-2mbar后,分子泵自動啟動) 
  • 系統控制旋轉速率:根據腔體內的真空度,系統自動控制旋片泵的旋轉速率

抽氣速率

  • N2     33 L/s
  •  He     39 L/s   (2340L/minute)
  • H2   32 L/s

工作范圍

 

1000 mbar to <1E-7 mbar

極限

 

<1E-8 mbar (without any leaking )

質量流量控制器

殼體

  • 采用 316不銹鋼制作
  • 混氣箱尺寸: Φ80X120mm  
  • 外形尺寸: 600(L) x 600(W) x 700(H), mm
  • MFC控制面板 (Click to enlarge),可根據客戶要求定制

功率

 

18W

工作電壓

 

AC 208-240V, 單相, 50/60Hz

質保期

 

一年質保期,相關耗材除外,如爐管,密封圈,等易耗件

質量認證

CE Certificateed

  Operation Manual


 



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