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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐> 1200℃單溫區三通道混氣CVD系統-OTF-1200X-80-I-F...

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1200℃單溫區三通道混氣CVD系統-OTF-1200X-80-I-F3LV

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  合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年,是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發生產上百款不同規格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發等相關實驗室設備。現已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優異,質量可靠,性價比高,環保節能、返修率低,遠銷到歐洲,美國,日本,德國等許多國家,廣泛應用于物理、化學、冶金、醫學、新能源材料研發等領域,受到客戶*好評。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創新"的經營理念,全力打造材料研發設備的品牌,竭力為科學進步和社會發展做出貢獻。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動球磨機,RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機,電池制備設備等

  OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統,其管徑為80mm,采用機械泵,供氣系統為三路浮子供氣系統,其真空度可達到 10-2 torr.

技術參數

高溫爐殼體

  • 采用雙層殼體結構,并帶有風冷系統,使得殼體表面溫度小于55
  • 內爐膛表面涂有1750℃進口氧化鋁涂層材料提高反射率及爐膛潔凈度

功率

2.5 KW

電壓

AC 208-240V 單相, 50/60 Hz 

加熱元件

摻鉬鐵鉻鋁合金(表面涂有氧化鋯涂層,使其zui大程度延長使用壽命)

zui高工作溫度

1200

連續工作溫度

1100

zui快升溫速率

<= 20 

爐管材質和尺寸

石英管: OD: 80mm x  ID: 75 mm x Length: 1000 mm 

加熱區長度

400 mm

恒溫區長度

150  (+/-1 )

控溫系統

  • PID30段程序化控溫  
  • 控溫儀表操作視頻

控溫精度

+/- 1 

 

真空密封系統

 

 

 

(點擊圖片查看詳細資料)

兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥),zui大漏氣率6 mtorr/min

真空泵

采用雙旋機械泵,機械泵上安裝有油污過濾器,可以過濾真空泵工作時產生的油煙,減少泵油的損耗,保護環境和人體健康,過濾的zui小微粒直徑為0.3微米。

數字式真空顯示計

 

  • 美國進口CVM-211數顯真空計,已安裝在不銹鋼法蘭上,測量范圍為10-4Torr~1000Torr
  • 可選:本公司進口的防腐型數字式真空顯示計,其測量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。

混氣系統

  • 三個浮子流量計(準確率4%FS)
  • 三路浮子量程分別為
  • 10-100 cc/min.
  • 16-160 cc/min.
  • 25-250 cc/min
  • 內部安裝有一混氣罐 

尺寸

  • 爐體尺寸: 550 x 380 x 520mm
  • 混氣系統尺寸: 600x600x597 mm

凈重

60kg

運輸重量

200

質保期

一年質保期(不包括爐管 、加熱元件和密封圈的損耗件)

 CE Certificate  



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