1700℃單溫區三通道混氣CVD系統-GSL-1700X-F3LV

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公司名稱 中美合資合肥科晶材料技術有限公司
品牌
型號
產地
廠商性質 生產廠家
更新時間 2024/10/22 8:35:16
訪問次數 2109

產品標簽

1700℃單溫區三通道混氣CVD系統 GSL-1700X-F3LV

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　　合肥科晶材料技術有限公司成立于1997年，是由一群來自麻省理工學院和加州大學伯克利分校的材料研究人員創辦的美國MTI公司與中科院合肥物質科學研究院合資興辦的高新技術企業。主要生產氧化物晶體(A--Z)和材料實驗室成套設備：包括“混料-壓料-燒料”(混料機、壓片機、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線定向儀、低速外圓鋸、金剛石線切割機、自動研磨、拋光機)。公司自主研發生產上百款不同規格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產品，其中包括：箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機、清洗劑及新能源鋰離子電池研發等相關實驗室設備。現已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實驗室設備的*，為科研工作者提供材料研究解決方案。產品設計*、性能優異，質量可靠，性價比高，環保節能、返修率低，遠銷到歐洲，美國，日本，德國等許多國家，廣泛應用于物理、化學、冶金、醫學、新能源材料研發等領域，受到客戶*好評。

　　科晶公司秉承"以人為本、技術為導、誠信為基、積極創新"的經營理念,全力打造材料研發設備的品牌,竭力為科學進步和社會發展做出貢獻。

展開

真空管式爐，高溫箱式爐，高速震動球磨機，RTP快速退火爐，高溫高壓爐，涂覆機，電池制備設備等

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GSL-1700X-F3LV是一款CE認證的管式爐CVD系統，其真空泵采用雙旋片式，混氣系統采用三路浮子供氣系統，zui高溫度可以達到1700°C，真空度可達到5x10-2 torr ，可以混合1-3種氣體。

技術參數

管式爐結構

采用雙層殼體結構，并帶有分冷，使得殼體表面的溫度小于55°C.
保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維可以環保節能，減少熱量的損失
內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命

加熱元件

1800 grade MoSi2 ( 8根)

zui高工作溫度

1700°C

zui大升溫速率

5°C/min

zui大降溫速率

5°C/min

加熱區長度

455mm (18")

恒溫區長度

150(+/-1°C)

溫控系統

一個精密溫度控制器 PID方式控制，通過可控硅 SCR
可設置30段升降溫程序.
控溫儀表操作視頻
帶有過熱和斷偶保護

控溫精度

+/-1°C

爐管材質和尺寸

99.8% 高純氧化鋁 Al2O3 陶瓷管
ID: 72mm x OD: 80 mm x 1000 mm length.

密封法蘭

兩個不銹鋼密封法蘭，法蘭上已經安裝數字式真空顯示計，和閥門
通過機械泵真空壓力可以達到5x10-2 torr
泄漏率zui大6 mtorr/min

輸入電源

AC 208~240V, 單相, 50/60Hz, 功率：zui大5KW

真空泵和配件

真空泵

一個雙旋片式機械泵安裝在移動架內
通過此機械泵真空度可以達到 5x10^-2 torr

配件

標配的真空配件: 一對不銹鋼密封法蘭和KF-25 真空泵接口，兩個不銹鋼針閥， 1/4"的軟管接頭
一個1000mm長的KF-25 不銹鋼波紋管和四個KF-25不銹鋼快速卸裝卡箍
一個LED數字式真空顯示計（測量范圍： 0.1mtorr ~ 850 torr)
可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。（點擊圖片查看詳細介紹）

氣體流量計