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雙管滑動(dòng)快速加熱冷卻爐--OTF-1200X-4-C4LVS

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  合肥科晶材料技術(shù)有限公司成立于1997年,是由一群來(lái)自麻省理工學(xué)院和加州大學(xué)伯克利分校的材料研究人員創(chuàng)辦的美國(guó)MTI公司與中科院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院合資興辦的高新技術(shù)企業(yè)。主要生產(chǎn)氧化物晶體(A--Z)和材料實(shí)驗(yàn)室成套設(shè)備:包括“混料-壓料-燒料”(混料機(jī)、壓片機(jī)、箱式爐、真空管式爐)以及“定向-切割-研磨-拋光”(X射線(xiàn)定向儀、低速外圓鋸、金剛石線(xiàn)切割機(jī)、自動(dòng)研磨、拋光機(jī))。公司自主研發(fā)生產(chǎn)上百款不同規(guī)格尺寸、溫度、高溫高壓及快速升溫等產(chǎn)品,其中包括:箱式爐、氣氛爐、管式爐、井式爐、RTP快速升溫爐、高溫高壓爐、鍍膜機(jī)、清洗劑及新能源鋰離子電池研發(fā)等相關(guān)實(shí)驗(yàn)室設(shè)備。現(xiàn)已成為氧化物晶體(A--Z)的主要制造商和材料研究實(shí)驗(yàn)室設(shè)備的*,為科研工作者提供材料研究解決方案。產(chǎn)品設(shè)計(jì)*、性能優(yōu)異,質(zhì)量可靠,性?xún)r(jià)比高,環(huán)保節(jié)能、返修率低,遠(yuǎn)銷(xiāo)到歐洲,美國(guó),日本,德國(guó)等許多國(guó)家,廣泛應(yīng)用于物理、化學(xué)、冶金、醫(yī)學(xué)、新能源材料研發(fā)等領(lǐng)域,受到客戶(hù)*好評(píng)。
 
  科晶公司秉承"以人為本、技術(shù)為導(dǎo)、誠(chéng)信為基、積極創(chuàng)新"的經(jīng)營(yíng)理念,全力打造材料研發(fā)設(shè)備的品牌,竭力為科學(xué)進(jìn)步和社會(huì)發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
 

真空管式爐,高溫箱式爐,高速震動(dòng)球磨機(jī),RTP快速退火爐,高溫高壓爐,涂覆機(jī),電池制備設(shè)備等

   OTF-1200X-4-C4LVS 雙管爐是 一個(gè)特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專(zhuān)門(mén)為在金屬箔上生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì),特別是應(yīng)用在新一代能源關(guān)于柔性金屬箔電極方面的研究,通過(guò)滑動(dòng)爐子實(shí)現(xiàn)快速加熱和冷卻。請(qǐng)點(diǎn)擊下圖觀(guān)看爐子的工作原理。

 

特點(diǎn):   

1.雙石英管:外管直徑100mm ,懸掛的內(nèi)管直徑 80. 金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)生CVD反應(yīng)。
2.雙管的真空密封法蘭:允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間(10mm間隙)發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體直接通入內(nèi)管.
3.四通道質(zhì)量流量計(jì)控制4路氣體。
4.配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。

5.爐子底部裝有滑軌:爐子可以從一端滑向另一端,從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫.

技術(shù)參數(shù)

爐體結(jié)構(gòu)
  • 高純 Al2O3保溫材料,保證了爐膛有*的溫度均勻性.
  • 內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時(shí)也可以延長(zhǎng)儀器的使用壽命
  • 爐子底部的冷卻風(fēng)扇保證了熱量正常對(duì)外釋放.
  • 密封法蘭系統(tǒng)全不銹鋼制作。
電源電源:208-240VAC,  50/60Hz, 單相,  2.5KW ( 20A 保險(xiǎn)絲)
加熱溫度
  • zui高溫度: 1100°C
  • 連續(xù)溫度: 1000°C
加熱區(qū)
  • 加熱區(qū)長(zhǎng)度: 440mm
  • 恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 120mm (±1°C) @400~1100°C
  • 選擇:   
  • 雙溫區(qū)爐可獲得t 240mm 的恒溫區(qū)

 

加熱和冷卻速度zui快的加熱和冷卻速度跟工作溫度有關(guān),  請(qǐng)點(diǎn)擊下圖看出zui快的加熱和冷卻速度隨溫度的變化而變化。
( 在使用爐子之前,要校準(zhǔn)工作溫度和加熱、冷卻速度 )

 
click to enlarge
加熱冷卻
石英管外管:     OD: 4"x ID: 3.8"X55" Length        (OD100 x ID 96 x 1400, mm )
內(nèi)管:        OD:3.15: x ID x 2.95" x 55" Length  (OD80 x ID 75 x 1800 mm )
真空法蘭
  • 一對(duì) SS304不銹鋼法蘭,通過(guò)用兩個(gè)高溫“O”型圈緊密密封可獲得高真空。
  • 爐子底部裝有一對(duì)滑軌
  • 爐子可以手動(dòng)從一端滑向另一端,實(shí)現(xiàn)快速的加熱和冷卻。
  • 為了得到較快的加熱速度,可以先將爐子預(yù)熱,然后滑到放置樣品的位置。
  • 為了獲得較快的冷卻的速度,把爐子滑向另一端,同時(shí)將冷卻氣體通入 樣品所在的位置。
左法蘭(點(diǎn)擊放大)右法蘭 (點(diǎn)擊方大)
    
極限真空度: 10^-2 torr (機(jī)械泵)
                   10^-5 torr (分子泵)
可選本公司進(jìn)口的防腐型數(shù)字式真空顯示計(jì),其測(cè)量范圍為3.8x10-5  1125 Torr. 不需因測(cè)量氣體種類(lèi)不同而需要系數(shù)轉(zhuǎn)換。(點(diǎn)擊圖片查看詳細(xì)介紹)
溫控儀溫控儀:帶超溫保護(hù)和PID調(diào)節(jié)的 30 段程序控制。 控溫儀表操作視頻
控溫精度: +/-1°C
混氣系統(tǒng)4路精密質(zhì)子流量計(jì):數(shù)字顯示、氣體流量自動(dòng)控制.
  • MFC 1范圍:  0~100 sccm
  • MFC 2范圍:  0~200 sccm
  • MFC 3范圍:  0~200 sccm
  • MFC 4范圍:  0~500 sccm
  • 氣路: 4 路
     
  • 流量精度: 0.2%
     
  • 進(jìn)氣和出氣接口: 1/4" 卡套
     
  • 一個(gè)混氣罐.
     
  • 每路氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制。  
     
  • 通過(guò)控制面板上的旋鈕來(lái)調(diào)節(jié)氣體流量. 請(qǐng)看下圖
     
  • MFC 面板(點(diǎn)擊放大)
真空泵
  • 安裝在移動(dòng)架底部的機(jī)械泵,真空度達(dá) 10-3 Torr. 
  • 真空泵與手動(dòng)擋板閥之間用KF25 快接與不銹鋼波紋管連接 . 
  • 數(shù)字真空表安裝在一端的法蘭上.

    選擇: 
    可以配分子泵,真空度達(dá) 10-5 Torr     
作為基片用的25um厚的銅箔 
(選配)
生長(zhǎng)石墨烯的銅箔 (150m length x 150mm width x 25um thickness)
尺寸(mm)爐體: 550 x 380 x 520
移動(dòng)架: 600x600x597
凈重300 lb
保修期一年質(zhì)保期 (耗材:如爐管,“O”型圈,和加熱元件等不在保修范圍內(nèi))
認(rèn)證  CE 認(rèn)證
 
國(guó)家

名稱(chēng):一種快速高溫退火爐

編號(hào):ZL-2011-2-0077168.4

尊重創(chuàng)新、鄙視抄襲、侵權(quán)必究。

快速加熱冷卻的雙管CVD爐--操作視頻


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