薄膜材料的真空、等離子制備、處理技術現已被廣泛應用于半導體、光電、太陽能等域的研發以及成產當中,這些技術包括: 等離子體增強化學氣相沉積反應器(PECVD Reactors) 脈沖激光沉積系統(Pulsed Laser Deposition) 磁控濺射系統(Sputter Deposition System) 電子束沉積系統(E-beam Deposition Systems) Quantum Design 引進多家真空等離子生產商設備,產品線涵蓋通用系統到定制設備,來滿足中國科研機構的不同需求,適合實驗室及工業使用。 等離子體增強化學氣相沉積系統 (PECVD) 應用域:
SiO2、Si3N4、非晶硅、類金剛石薄膜、光學薄膜、介質膜等制備 太陽能電池研發 石墨烯制備 碳納米管選擇性制備 等離子誘導表面改性 等離子清洗(NF3) 反應離子蝕刻
NPE 系列:標準化射頻等離子體怎強化學氣相沉積系統(RF-PECVD reactors)
資料下載 FLARION 系列:射頻等離子體增強化學氣相沉積系統,高開放性、可擴展定制 資料下載 MIRENIQUE 系列:微波-等離子體化學氣相沉積系統(MW-PECVD reactors),高開放性、可擴展定制
資料下載 脈沖激光沉積系統 (Pulsed Laser Deposition systems)
應用域:
高溫超導材料研發 鐵電材料 鐵磁材料 光學材料 電介材料 硬質薄膜 透明導電氧化物(TCO)沉積,如ITO,ZnO 功能陶瓷薄膜 納米結構生長 聚合物薄膜
GLAZE 系列:中小型,高擴展性制式系統
資料下載 JUV 系列:大中型、復雜定制PLD系統
歡迎垂詢具體技術細節。 MAGNION 系列:磁控管陰和磁控濺射系統(sputtering cathodes and PVD deposition systems)
資料下載 FLOCON 系列:電腦控制氣體管理系統 (computer controlled gas management systems)
資料下載 此外,Plasmionique公司還可以定制:電子束沉積系統(E-beam Deposition Systems) 混合沉積系統(Hybrid Deposition Reactors) 等離子 離子注入系統 (Plasma Ion Implanter) 分子束外延系統 (MBE Systems) 等離子、反應離子、深反應離子蝕刻反應器(PE, RIE. DRIE Reactors) * | 高速高分辨率拉曼成像顯微鏡 > 線掃描激光束;> 多光譜同步測量; >狹縫聚焦; > XY方向260nm空間分辨,...... | * | 時間分辨精細陰熒光分析系統 - attolight > 定量測量SEM-CL; >300um視場, 10nm空間分辨率; >10ps時間分辨率; > 20-300K,...... | * | 高光譜化學成像工作站SisuCHEMA > 推掃式成像> 400~1000nm; >900~1700nm; > 1000~2500nm; >整合數據采集處理軟件,...... | * | 有機/金屬薄膜沉積系統(OLED) > 1~6室沉積系統> 有機-金屬,同室/異室沉積 > *濕度控制技術,> 精確速率控制 | * | 無掩膜激光直寫光刻系統 > 0.6, 1, 3; 5, 10um分辨率 > 300mm2/min直寫速度; >200nm對準精度 |
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