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BDCYJS濺射薄膜壓力傳感器芯體

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BDCYJS濺射薄膜壓力傳感器芯體
BDCYJS系列離子束濺射薄膜壓力傳感器芯體,應用*的離子束濺射和離子束刻蝕工藝,將應變電橋直接制作在金屬測壓膜片上。由于不用傳統的膠粘工藝,顯著改善了應用式傳感器的*穩定性及抗蠕變特性,使產品使用的溫度范圍大為擴展。該傳感器具有體積小、精度高、穩定性好、使用溫度高、溫度漂移小、電橋阻抗高、抗振動和抗沖擊性強等優點,可用于高溫及低溫等惡劣的環境。
技術參數
1.      測量范圍:1~150Mpa
2.      精度:±0.1、±0.2mv/V
3.      靈敏性:1.5±0.2mv/V
4.      穩定性:0.1%FS/年
5.      介質溫度:-196×150℃
6.      溫漂影響:<2×10-4FS/℃
7.      過載:測量范圍的1.5倍(大于100Mpa為量程的1.2倍)
崔瑞
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