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日立分析儀器(上海)有限公司

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舉報(bào) 評(píng)價(jià)

微小器件特性評(píng)價(jià)裝置nanoEBAC NE4000

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 日立科學(xué)儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2016/8/25 0:47:35
  • 訪問(wèn)次數(shù) 1955

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  日立高新技術(shù)集團(tuán)的企業(yè)理念是“以成為先端技術(shù)領(lǐng)域里提供高科技解決方案的*為目標(biāo)”。在這個(gè)理念的指引下,將電子裝置系統(tǒng)、生命科學(xué)系統(tǒng)、信息電子系統(tǒng)、*產(chǎn)業(yè)材料系統(tǒng)等各個(gè)事業(yè)部門的“先端技術(shù)”推向世界的Z前線。

  為了應(yīng)對(duì)日新月異的技術(shù)革新和需求的多樣化,達(dá)成事業(yè)的化,日立高新技術(shù)集團(tuán)同時(shí)具有用先端技術(shù)開發(fā)制造新產(chǎn)品的制造功能和向提供優(yōu)化解決方案的貿(mào)易公司機(jī)能,是一家在先端科技領(lǐng)域里向*更快、更好地提供產(chǎn)品和服務(wù)的性企業(yè)。

  日立高新技術(shù)集團(tuán)Z重視的是在中國(guó)地區(qū)的事業(yè)戰(zhàn)略。我們?cè)谏虾!⒈本⑸钲凇⑾愀墼O(shè)立了獨(dú)資公司,這些地方分公司在中國(guó)的11個(gè)地區(qū)設(shè)有銷售和技術(shù)服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)。同時(shí)在蘇州和大連還設(shè)有生產(chǎn)基地。日立高新技術(shù)集團(tuán)不但支持中國(guó)電子產(chǎn)業(yè)和高科技產(chǎn)業(yè)發(fā)展的半導(dǎo)體制造,而且提供各種解析設(shè)備,LCD制造和檢查設(shè)備,芯片貼裝設(shè)備等。在保障人民安全和健康的科學(xué)醫(yī)療領(lǐng)域,還提供各種解析、分析儀器及應(yīng)用相關(guān)系統(tǒng)等*開發(fā)產(chǎn)品和相應(yīng)的優(yōu)質(zhì)且完善的售后服務(wù)。此外,日立高新技術(shù)集團(tuán)從中國(guó)各地向*提供支持電子、高科技、汽車產(chǎn)業(yè)、環(huán)境和節(jié)能技術(shù)的各種新功能材料的采購(gòu)解決方案,通過(guò)靈活利用網(wǎng)絡(luò)和其貿(mào)易公司功能,實(shí)現(xiàn)創(chuàng)造附加價(jià)值的事業(yè)模式。

  日立高新技術(shù)中國(guó)實(shí)業(yè)集團(tuán)作為被大家所信賴的企業(yè),在遵紀(jì)守法的同時(shí),力爭(zhēng)創(chuàng)造新的價(jià)值,以“客戶*位為根本”開展工作,探求持續(xù)性發(fā)展,通過(guò)營(yíng)銷活動(dòng)為中國(guó)的高科技產(chǎn)業(yè)、環(huán)境及能源事業(yè)、社會(huì)基礎(chǔ)設(shè)施的安全、人民健康等方面的發(fā)展,不斷地做著積極的貢獻(xiàn)。衷心希望今后也能夠繼續(xù)得到大家的支持和厚愛(ài)。

熒光光譜,質(zhì)譜,液相色譜

微小器件特性評(píng)價(jià)裝置nanoEBAC NE4000 特點(diǎn)

  • 采用日立技術(shù)的高效電子束吸收電流表征放大器,生成優(yōu)質(zhì)電子束吸收電流表征圖像。
  • 直觀的圖形用戶界面,具有各種圖像和顏色處理功能。
  • 具有現(xiàn)場(chǎng)考驗(yàn)實(shí)績(jī),低色差,低加速電壓下成像所需的冷場(chǎng)發(fā)射電子槍,減小電路的電子束損傷。
  • 高精度納米探測(cè)裝置。
  • 通過(guò)樣品室內(nèi)CCD相機(jī)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)探測(cè)位置的初始定位。


電子束吸收電流表征技術(shù)提供了一種快速,有效地識(shí)別內(nèi)部連接開路,高電阻以及短路的方法,無(wú)需低平層的直接探測(cè)技術(shù)。EBAC技術(shù)利用電子束穿過(guò)絕緣層,使低位的金屬層吸收電子束電流。
通過(guò)場(chǎng)發(fā)射掃描電子顯微鏡的加速電壓,控制電子束穿透電介質(zhì)層的探測(cè)深度。單個(gè)探針?lè)胖糜谕饴兜纳蠈咏饘俦∧ど希纬砷]合回路,以便電子流過(guò)連接線。使用兩個(gè)探針和日立技術(shù)的差動(dòng)電子束吸收電流表征放大器,可產(chǎn)生賽貝克效應(yīng),從而觀察高電阻和短路情況。

 

應(yīng)用數(shù)據(jù)(Renesas電子公司樣品)


采用彩色顯示功能,對(duì)4層鋁質(zhì)連接線進(jìn)行電子束吸收電流表征成像。
*電流放大器圖像

 

微小器件特性評(píng)價(jià)裝置nanoEBAC NE4000 規(guī)格

日立

探測(cè)裝置
裝置編號(hào) 4
驅(qū)動(dòng)方法 壓電式
微動(dòng)行程范圍 5μm (X,Y)
粗動(dòng)行程范圍 6mm (X,Y)
樣品臺(tái)/基座臺(tái)
樣品尺寸 25mm × 25mm × 1mm 厚或更薄
橫向位置 測(cè)量/樣品交換位置
樣品交換 氣鎖交換室
探針導(dǎo)航 樣品臺(tái)平移探針定位
測(cè)量位置記憶
探針粗調(diào)
CCD圖像顯示 橫向圖像顯示
電子光學(xué)
電子槍 場(chǎng)發(fā)射電子源
加速電壓 0.5kV to 30kV
分辨率 15nm (2kV,工作距離為15mm)
圖像移動(dòng) ±150μm (2kV,工作距離為15mm)
電子束吸收電流放大器/圖像顯示
放大器類型 電流放大器/差動(dòng)放大器
圖像顯示 SEM/EBAC(單一/并列/疊加)
圖像處理 黑白反轉(zhuǎn)顯示,彩色顯示,亮度調(diào)節(jié),積分慢掃描,層區(qū)掃描


 

尺寸與重量

主機(jī) 1,100(W)× 1,550(D)× 1,750(H)mm,
850kg
顯示裝置 1,000(W)× 1,005(D)× 1,200(H)mm,
265kg

安裝環(huán)境要求

室溫 15至25 ºC
濕度 相對(duì)濕度不高于60%
電源 AC100V±10% 5kVA (M5接線端子)
接地電阻 不高于100Ω
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