Solstice 外延晶片在線光折射檢測儀
- 公司名稱 源順科技儀器有限公司
- 品牌
- 型號 Solstice
- 產地 愛爾蘭
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2018/5/14 9:00:00
- 訪問次數 1311
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
公司產品主要有:X射線衍射系統;多功能穩定度分析儀 ;奈米顆粒大小分析儀;光電制造和檢測系統;粘度分析系統;粒度及微流變分析系統;數字全析顯微鏡;呈象橢偏儀,布氏角顯微鏡,LB 薄膜分析;接觸角及表面張力分析儀;沾筆式納米制程技術;在線粘度計;原子薄膜沉積儀。
外延晶片在線光折射檢測儀
特 點 : 對 2”-200 mm 的晶片可以進行在線的光折射掃描,也可升級至 300mm 檢測直徑; 掃描范圍從 0.75 eV 到 2.2 eV, 3.6 eV 可選; 在室溫,禁帶寬度和偏移 (Band gap/band offset) 測量可精確到 2 meV ; 可進行表面 / 界面電場測量; 入射角可從 15° 到 75°, 特別適合于 VCSEL/RCLED 晶片; *的模型軟件: TDFF, FDFF, FKO 擬合;
外延晶片在線光折射檢測儀
優 點 : 快速非接觸式外延晶片表征; 直接測量晶片的帶寬,偏移和表面 / 界面電場; 應用于統計的過程控制,提高加工穩定性; 大幅節省由于晶片破壞性實驗和設備制造的費用; 提高晶片生產率;較少的校正可以提*; 控制晶片的質量,以避免進入下一步工序造成的損失; VCSEL 和 RCLED 晶片上的非破壞性實驗; 應 用 : 室溫下高精度禁帶寬度測量; 外延晶片材料中關鍵部位的電場測量; 為 HBT 晶片質量和靜態過程控制提供技術; 無損檢測 VCSEL 和 RCLE 晶片產品質量; 可以適用多種晶片生產設備 (GaAs, InP, SiGe; GaN 可選 ) 適用于 HBT, pHEMT, LED, QWIP, 邊發射激光器材料;