TS3000 Probe System 半自動(dòng)300mm探針臺(tái)測(cè)試系統(tǒng)
? 模塊量測(cè) - DC-IV / DC-CV / Pulsed-IV
? 高溫度范圍-60°C至300°C
? 大的靈活性
? 具有特定設(shè)計(jì)的電纜接口的與功能測(cè)試儀的小電纜距離，可實(shí)現(xiàn)更好的測(cè)量方向性
? 小的卡盤(pán)到工作臺(tái)面高度可實(shí)現(xiàn)佳mmW和內(nèi)部節(jié)點(diǎn)探測(cè)
? 通過(guò)在內(nèi)部集成熱系統(tǒng)的冷卻器，將系統(tǒng)占地面積降至低
結(jié)合了MPI的IceFreeEnvironment™，TS3000可以在-60至300°C的寬溫度范圍內(nèi)對(duì)300mm的晶片進(jìn)行微型定位器和（或）探針卡測(cè)試，并具有在膠片框架上進(jìn)行探測(cè)的附加功能。
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