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可測低反射膜硅等的厚度膜厚測厚儀

2024-11-02

產(chǎn)      地:
日本
所在地區(qū):
北京北京市
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長處

紅外透射膜厚度監(jiān)測器可測量電池隔膜等半透明片材、黑色光刻膠等低反射膜和硅的厚度。 它是一種紅外吸收涂層測厚儀,可應(yīng)用于從實(shí)驗(yàn)室級別到生產(chǎn)過程中的在線檢查的所有情況。
它是一種紅外薄膜測厚儀,采用由緊湊型鏡面探頭組成的透射光學(xué)系統(tǒng),可通過同時測量 100 多個波長的光譜儀,準(zhǔn)確測量薄膜厚度、密度、成分等多個參數(shù)。


    • 1

    • 測量半透明片材、
      低反射膜、硅等的厚度,這在光學(xué)干涉測量法中是困難的


    • 2

    • 微型光纖探頭

      由于使用了 30 毫米的小型反射探頭,
      它可以安裝在設(shè)備或生產(chǎn)線的狹小空間內(nèi)。
      此外,由于探頭僅通過
      光纖連接到主機(jī),因此具有出色的耐環(huán)境性。


    • 3

    • 高速測量:

      100 個點(diǎn)或更高處同時采樣 950~1650 nm 的近紅外波長

      可實(shí)現(xiàn)短至 1 毫秒的高速采樣。
      可以在生產(chǎn)線上進(jìn)行實(shí)時檢測和測量。
      由于干涉濾光片不旋轉(zhuǎn),因此具有出色的耐用性和可靠性。


    • 4

    • 厚度測量重復(fù)性:0.1% 或更低 (3σ)


    • 5

    • 兩種可選的測量算法

      測量算法校準(zhǔn)樣品測量目標(biāo)
      Beer-Lambert 法1 種僅厚度
      最小二乘回歸2 種或更多類型倍數(shù)(厚度、密度、特定成分的混合量等)

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測量示例(鋰離子電池隔膜)

可以同時測量厚度和涂層重量。

測量示例(硅襯底上黑色光刻膠的膜厚)

可以測量硅襯底上黑色光刻膠的薄膜厚度,而使用反射光譜法使用光學(xué)干涉涂層測厚儀很難做到這一點(diǎn)

配置


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