日本混合激光顯微鏡OPTELICS HYBRID+

Lasertec多功能高性能OPTELICS HYBRID+激光顯微鏡全面升級，追求真正實用性，能夠應對多樣化測量場景。

▆ 共聚焦顯微鏡原理：
樣品表面的反射光通過遮光板上的細孔到達檢測器。點光源的照射光到達樣品并聚焦時，其反射光也正好在細孔處聚焦，因此稱為“共聚焦光學系統“。樣品表面的聚焦部位，其反射光經細孔到達檢測器進行檢測；未聚焦的反射光大部分被遮光板擋住，無法被檢出。這種僅聚焦部位的反射光被檢出的共聚焦光學系統，為HYBRID+激光顯微鏡所采用。

OLED行業、晶振應用、SAW濾波器、半導體激光、太陽能電池、液晶面板、透明晶圓檢查等。

日本混合激光顯微鏡OPTELICS HYBRID+

特點：

▆ 提供6項職能以滿足各種需要：

1.白光共焦：白光共焦顯微鏡是利用共焦光學和白光的顯微鏡。HYBRID+ 可作為白光共焦顯微鏡進行全色高清晰度觀測和高分辨率三維輪廓測量。

2.激光共焦：HYBRID+利用共焦光學和激光光源作為激光共焦顯微鏡。它使高放大率、高分辨率的觀測和測量與掃描電子顯微鏡的性能相當。

3.差動干涉對比：共焦光學與差動干涉對比相結合，使得超細地形的高對比度實時可視化。

4.垂直掃描白光干涉測量：該功能利用干涉測量技術對地形進行納米尺度測量,并對晶圓片和薄膜進行廣域波動測量。它使用雙波束干涉物鏡，以便能夠在一毫米規模的大面積上對納米尺度的地形進行高精度的剖面測量。

5.相移干涉測量：這個功能使用干涉測量來進行角度尺度地形測量。

6.光譜反射計薄膜厚度測量：這個功能使用反射計來測量厚度小于1微米的透明薄膜的厚度。

▆ 滿足行業領現的規格并實現高精度：

HYBRID+ 實現行業領現的性能激光顯微鏡的各種觀測和測量應用。

1.高速測量：HYBRID+實現行業領現的高速幀速率(15赫茲)，在圖像拼接、自動測量、自動缺陷檢測和高速移動圖像觀測方面帶來卓月的性能。

2.高精度測量：HYBRID+達到行業領現的測量精度和重復性。

▆ 提供各種測量、分析和支持功能,以提高可用性

LM眼,混合測試分析軟件 ⁺,提供各種功能,協助你順利運作。

▆ 自動操作以提高效率：

拉塞特克提供了很好的解決方案,以滿足您的測量需求,無論它是否需要一個標準的工具或定制您的生產過程。

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