能源效率飛躍提升，極紫外光刻技術大幅降低生產(chǎn)成本！
【化工儀器網(wǎng) 項目成果】 隨著人工智能、數(shù)據(jù)中心、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術的快速發(fā)展，對半導體芯片的需求不斷擴大。特別是在中國等新興市場，消費電子、通信設備、智能家居等領域的快速增長，為半導體產(chǎn)業(yè)提供了巨大的市場空間。為了應對日益增長的市場需求，半導體制造商紛紛擴大產(chǎn)能，但同時半導體制造業(yè)面臨著巨大的成本壓力，包括原材料成本、設備成本、人工成本等。為了降低成本并提高競爭力，半導體制造商正在采取多種措施，如優(yōu)化生產(chǎn)流程、提高設備利用率、降低廢品率等。
近日，日本沖繩科學技術大學院大學(OIST)宣布了一項突破性的科技成果——一種全新的極紫外(EUV)光刻技術，該技術有望徹底改變半導體制造業(yè)的現(xiàn)狀，大幅提高能源效率并顯著降低制造成本。
據(jù)OIST最新報告，該校設計的這種EUV光刻技術超越了當前半導體制造業(yè)的標準界限。其核心優(yōu)勢在于采用了更小的EUV光源，其功耗僅為傳統(tǒng)EUV光刻機的十分之一左右。這一顯著的功耗降低不僅直接降低了生產(chǎn)成本，還大幅提高了光刻設備的可靠性和使用壽命，為半導體制造商帶來了前所未有的經(jīng)濟效益。
為了進一步優(yōu)化光照效果，研究團隊還設計了一種名為“雙線場”的新型照明光學方法。該方法利用EUV光從正面照射平面鏡光掩模，同時確保不會干擾光路。這種巧妙的設計不僅解決了光線相互干擾的問題，還提高了光照的均勻性和效率。
在傳統(tǒng)的光刻過程中，由于光源的限制，往往需要較長的曝光時間，導致能源消耗較大。而極紫外光刻技術采用的光源具有更高的能量密度，可以在更短的時間內(nèi)完成曝光過程，從而大大減少了能源消耗。這不僅有利于降低生產(chǎn)成本，還有助于減少對環(huán)境的影響，實現(xiàn)綠色制造。
其次，在半導體制造過程中，光刻膠、掩模和光刻機等關鍵材料和設備的成本占據(jù)了很大比例。而極紫外光刻技術采用的新型光刻膠和高精度光刻機，雖然初期投入較高，但由于其高效的生產(chǎn)能力和較低的線寬粗糙度，可以有效降低單位產(chǎn)品的制造成本。此外，極紫外光刻技術還具有較高的兼容性，可以與現(xiàn)有的半導體制造工藝相結(jié)合，進一步降低生產(chǎn)成本。
除了提高能源效率和降低成本之外，極紫外光刻技術還為半導體行業(yè)的創(chuàng)新發(fā)展提供了有力支持。隨著物聯(lián)網(wǎng)、人工智能、5G通信等新興技術的蓬勃發(fā)展，對半導體器件的性能要求越來越高。而極紫外光刻技術為實現(xiàn)更小尺寸、更高性能的半導體器件提供了可能，有望推動半導體行業(yè)邁向更高層次的發(fā)展。
然而，任何一項新技術的推廣和應用都離不開產(chǎn)業(yè)鏈的協(xié)同發(fā)展。為了充分發(fā)揮極紫外光刻技術的優(yōu)勢，我們需要加強相關材料、設備和工藝的研發(fā)，推動整個產(chǎn)業(yè)鏈的升級。同時，還需要加強人才培養(yǎng)，吸引更多優(yōu)秀人才投身于半導體行業(yè)，為我國半導體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展提供人才保障。
目前，這項創(chuàng)新技術已經(jīng)申請了專利，并有望在未來幾年內(nèi)進入商業(yè)化應用階段。這一新技術的問世將給全球EUV光刻市場帶來巨大經(jīng)濟效益，推動半導體制造業(yè)向更高效、更環(huán)保的方向發(fā)展。
關注本網(wǎng)官方微信 隨時閱讀專業(yè)資訊
- 睿勵科學儀器完成數(shù)億元B輪融資，專注國產(chǎn)半導體量檢測設備 2024-11-12 10:36:57
- 近日，睿勵科學儀器(上海)有限公司宣布完成近5億元B輪融資，融資資金將用于高精度光學量檢測系列產(chǎn)品的研發(fā)和市場化推廣，豐富公司的產(chǎn)品矩陣，加速擴大生產(chǎn)并加強公司的市場拓展和品牌建設等。
- 凌光紅外完成數(shù)千萬元A 輪融資 啟高資本再度獨家投資 2024-10-26 15:37:00
- 10月24日，蘇州凌光紅外科技有限公司宣布順利完成數(shù)千萬元的A 輪融資，本輪融資由啟高資本獨家投資.
- 晶圓三溫測試平臺中標結(jié)果公告 2024-10-12 11:20:31
- 項目名稱：晶圓三溫測試平臺，項目編號：0613-244124104510，招標范圍：晶圓三溫測試平臺，招標機構：上海機電設備招標有限公司，招標人：上海大學
- 和其光電獲數(shù)千萬元融資 加速半導體及電力設備監(jiān)測技術創(chuàng)新與擴 2024-09-26 14:32:01
- 近日，高端儀器設備及監(jiān)測系統(tǒng)解決方案提供商——和其光電（Optsensor），成功完成數(shù)千萬元融資，本輪融資由中新綠電（中國電氣裝備集團產(chǎn)業(yè)投資基金）領投。
- 手動缺陷檢測設備中標結(jié)果公告 2024-09-10 09:37:40
- 項目名稱：上海積塔半導體有限公司特色工藝生產(chǎn)線建設項目，項目編號：4197-2140SHJT0001/354，招標范圍：手動缺陷檢測設備，招標機構：中電商務（北京）有限公司，招標人：上海積塔半導體有限公司
版權與免責聲明
- 凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權或有權使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權使用作品的，應在授權范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關法律責任。
- 本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其它來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點或和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網(wǎng)站或個人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內(nèi)容、版權等問題，請在作品發(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關權利。
