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新型離子和電子雙束系統(tǒng)為材料研究提供了的納米分析能力。

    日立公司久負(fù)盛名的高可靠性和高性能設(shè)計(jì)在新型雙束系統(tǒng)（超高精密聚焦離子束FIB和高分辨場(chǎng)發(fā)射電鏡FE-SEM）中得到了*體現(xiàn)，它具有高效率的樣品制備能力、高精度納米微加工能力和高分辨圖像觀測(cè)能力。新的低損傷加工技術(shù)可以很好的滿足感光材料和電子束曝光應(yīng)用的需求；而新開發(fā)的微樣品取樣、樣品裝載和樣品導(dǎo)航功能則進(jìn)一步提高了分析效果*1。

特點(diǎn)：
超高精密聚焦離子束FIB
   低銫FIB*2系統(tǒng)保證了不小于50nA的束流強(qiáng)度（40KV），和1µm的束斑尺寸。
   保證了大面積的拋光、硬質(zhì)材料的微加工和高效率的樣品制備。
新開發(fā)的微樣品取樣技術(shù)*2
   日立公司技術(shù)微樣品取樣技術(shù)保證了探針的平滑移動(dòng)，同時(shí)新開發(fā)的通過探針生成的吸收電流圖象技 術(shù)用來避免錯(cuò)誤發(fā)生。
高分辨掃描電鏡
    日立公司技術(shù)的的電鏡鏡筒和探頭*2保證了無論FIB是否工作均可以觀測(cè)到高分辨點(diǎn)睛圖像。
高精度的終點(diǎn)探測(cè)技術(shù)
    SEM的高分辨圖像保證了高精度的終點(diǎn)探測(cè)，利用實(shí)時(shí)的FIB圖像實(shí)現(xiàn)的Section-View功能可以顯示截面的輪廓圖，在電子感光材料樣品制備中有函大價(jià)值。
樣品桿可適應(yīng)TEM/STEM*1*2
    側(cè)插式樣品桿可以適用于其它設(shè)備（日立公司NB5000和TEM/STEM）