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在現(xiàn)代工業(yè)的宏大版圖中，儀器儀表無疑是照亮前行之路的眼睛，而流體測控及其核心零部件的品質與技術高度，更是如同精密齒輪，直接決定著半導體等先進制造業(yè)的運轉效率和精度。

“這是我們自主研發(fā)的MFC330系列氣體質量流量計/控制器，可以用于半導體、光伏、真空鍍膜、生命科學、燃料電池、高精度分析儀器、石化、制氣、醫(yī)療、食品、工業(yè)自動化控制等行業(yè)。”11月26日，蘇州愛拓利電子設備有限公司（以下簡稱“愛拓利”）總經(jīng)理楊兆寶拿著手中的流量計介紹。當日，他帶著“半導體級氣體質量流量計的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化”項目正式入駐吳江開發(fā)區(qū)半導體智能制造創(chuàng)新港。

此次開業(yè)的愛拓利工廠一期面積達1000平方米，內部配備十萬級和千級潔凈車間、專業(yè)研發(fā)團隊和完善的服務平臺。“我們懷揣著對未來的美好憧憬和堅定信念，來到吳江開發(fā)區(qū)再創(chuàng)業(yè)，希望為吳江乃至全國的半導體核心配件國產(chǎn)替代進程注入強勁新動力。”楊兆寶說。

為打破國內氣體質量流量計核心部件依賴國外進口局面，楊兆寶自2019年開始了氣體質量流量計核心部件（質量流量傳感器、微型氣體比例閥）的全面國產(chǎn)化研發(fā)工作。作為國內極少數(shù)能夠自主研發(fā)生產(chǎn)高精度氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的企業(yè)，其產(chǎn)品的核心部件毛細管柱式傳感器和高精度微型氣體比例閥全面國產(chǎn)、自研自制率100%、全制程自主可控，其性能趕超進口同類產(chǎn)品。

“這項技術我們用了將近5年時間進行突破，我覺得是一件特別驕傲的事情，我們必須要創(chuàng)新，要制造出我們國家自己的東西。”楊兆寶介紹，企業(yè)計劃于2025年3月完成搭載了全國產(chǎn)化的層流差壓式氣體質量流量傳感器和壓電式全金屬密封比例閥的高性能氣體質量流量計的研發(fā)工作，并開始進行測試，預計將于2025年6月進入小批量試產(chǎn)和市場推廣。

愛拓利的愿景是成為一家在流體測控領域具有影響力的創(chuàng)新型企業(yè)。“我們專注于擁有自主知識產(chǎn)權、全面國產(chǎn)化的核心零部件的開發(fā)，以期打破進口產(chǎn)品的技術壟斷，擺脫對進口品牌的依賴，大力提升制程和科研中國產(chǎn)化替代水平和應用規(guī)模，早日打造出全面國產(chǎn)化的可靠的流體測控產(chǎn)品，解決我國基礎科學及制程領域所面臨的‘卡脖子’困境。”楊兆寶坦言。

近年來，吳江開發(fā)區(qū)以培育半導體智能裝備產(chǎn)業(yè)為目標，打造半導體智能裝備產(chǎn)業(yè)集群，自今年5月起，半導體智能制造創(chuàng)新港內已陸續(xù)進駐12家企業(yè)。愛拓利依托“人才+科技+基金”項目落地，乘著半導體產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展的“東風”，將在開發(fā)區(qū)大展拳腳。

“我覺得用‘Family’這個英文單詞來形容吳江開發(fā)區(qū)的親和力最為貼切。吳江開發(fā)區(qū)給了我們企業(yè)‘合適的土壤、養(yǎng)分和陽光’，幫助企業(yè)茁壯成長。未來，愛拓利將組建一支具有創(chuàng)新精神和專業(yè)能力的核心團隊，包括研發(fā)、技術、營銷、運營等方面的人才。同時，重視不同背景的成員的不同視角和思維方式，助力團隊在產(chǎn)品創(chuàng)新和市場開拓中應對各種挑戰(zhàn)。”楊兆寶說。

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